1、高頻超聲清洗

 

    這是一種兆赫茲級(jí)的高頻超聲清洗技術(shù)，微型超聲波清洗及在使用中設(shè)置為頻率高，空化效應(yīng)已不起作用，因此清洗的關(guān)鍵不是氣泡，是高頻壓力波的擦洗作用。用戶(hù)選擇這種工藝的微型超聲波清洗機(jī)主要用于大規(guī)模集成電路芯片上的污物清洗，以及硅晶片、陶瓷、光掩模等特種污物的清洗。

 

    2、聚焦式清洗

 

    采用機(jī)械掃描聚焦式超聲清洗的微型超聲波清洗機(jī)，用戶(hù)使用其去除噴絲板微孔中的污物脫離十分明顯，清潔效果好。聚焦式清洗要求達(dá)到高的聲強(qiáng)，市場(chǎng)上多選用的頻率以低頻為主。

 

    3、多頻清洗

 

    在微型超聲波清洗機(jī)內(nèi)安裝兩種或三種以上不同頻率的換能器，由多只發(fā)生器分別推動(dòng)各自頻率的換能器。用戶(hù)在使用中選擇強(qiáng)度高的低頻超聲波，有利于對(duì)物體表面清洗。選用高頻超聲波空化密度高，沖擊波能穿達(dá)凹槽、細(xì)縫、深孔等細(xì)微結(jié)構(gòu)。同時(shí)缸中有多種頻率的超聲波，有助于用戶(hù)克服單頻清洗駐波場(chǎng)造成的清洗不均勻問(wèn)題。

 

    4、掃頻和跳頻的清洗

 

    專(zhuān)業(yè)的微型超聲波清洗機(jī)內(nèi)掃頻和跳頻清洗都是為了提升缸中的聲場(chǎng)結(jié)構(gòu)，前者解決了缸中的不均勻駐波場(chǎng)，使清洗均勻。對(duì)于用戶(hù)而言此種微型超聲波清洗機(jī)不僅兼顧到高低頻清洗，其換能器本身有兩個(gè)諧振頻率，具備高低頻交替進(jìn)行清洗，適用范圍更廣泛。